[实用新型]采用可控阻尼器的超精密静压直线导轨

摘要

一种采用可控阻尼器的超精密静压直线导轨，包括有床身和用于放置工件的滑座，滑座的底面固定设置有滑块，滑块内形成有开口向下的凹槽；而床身上与所述的滑块的凹槽相对应的固定设置有能够嵌入到滑块的凹槽内的导轨；滑块的凹槽的内周壁上开有多个在与导轨结合后起润滑和承载作用的压力油腔，多个压力油腔通过油路与供油系统连通，每一个压力油腔的两侧都分别开设有回油槽，每一个回油槽都与回油箱连通。每一条向压力油腔供油的油路上均设置一个节流阀。滑块的凹槽的内周壁上开有个通过设置在油路上的节流阀与供油系统连通的压力油腔。本实用新型可以在不采用电液伺服控制的情况下获得大量应用，对少量要求超高精度的应用，可以通过使用电液伺服控制来实现。

主权项

一种采用可控阻尼器的超精密静压直线导轨，包括有床身(25)和用于放置工件(24)的滑座(23)，其特征是：所述的滑座(23)的底面固定设置有滑块(21)，所述的滑块(21)内形成有开口向下的凹槽(26)；而所述的床身(25)上与所述的滑块(21)的凹槽(26)相对应的固定设置有能够嵌入到滑块(21)的凹槽(26)内的导轨(22)；所述的滑块(21)的凹槽(26)的内周壁上开有多个在与导轨(22)结合后起润滑和承载作用的压力油腔(17、18、19、20)，所述的多个压力油腔(17、18、19、20)通过油路与供油系统连通，所述的每一个压力油腔(17、18、19、20)的两侧都分别开设有回油槽(12)，所述的每一个回油槽(12)都与回油箱(11)连通。