[实用新型]一种磁控溅射设备的阴极冷却装置有效
申请号: | 200920094604.1 | 申请日: | 2009-10-29 |
公开(公告)号: | CN201530858U | 公开(公告)日: | 2010-07-21 |
发明(设计)人: | 杨继泽;刘万学;张兵;王巍;程明辉;左腾;徐柏章;曲爽 | 申请(专利权)人: | 吉林庆达新能源电力股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;H01J37/02;H01J37/34;H01L31/18 |
代理公司: | 吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司 22204 | 代理人: | 石岱 |
地址: | 136001 *** | 国省代码: | 吉林;22 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种冷却装置,具体的说是一种磁控溅射设备中对阴极靶材进行冷却的装置。该冷却装置包括仓体上壁、靶材、降温板,所述的降温板设置在仓体上壁和靶材之间,其中在降温板的内部设置由冷却水管道。所述的降温板内部设置的冷却水管道包括两条管道,其中两条管道分别带有进水口和出水口,冷却水管道在降温板的内部为“M”型排列。本实用新型由于采用上述结构,从而能有效的对靶材进行降温,使控溅射设备内太阳能电池的溅镀效果得到很大程度的提高。 | ||
搜索关键词: | 一种 磁控溅射 设备 阴极 冷却 装置 | ||
【主权项】:
一种磁控溅射设备的阴极冷却装置,其特征在于:该冷却装置包括仓体上壁(1)、靶材(2)、降温板(3),所述的降温板(3)设置在仓体上壁(1)和靶材(2)之间,其中在降温板(3)的内部设置由冷却水管道(4)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吉林庆达新能源电力股份有限公司,未经吉林庆达新能源电力股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200920094604.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种内燃机车架修支撑架
- 下一篇:一种果蔬运货车
- 同类专利
- 专利分类