[实用新型]一种激光探针微区成分分析仪无效
| 申请号： | 200920086880.3 | 申请日： | 2009-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN201434840Y | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 曾晓雁;陆永枫;郭连波;蔡志祥;曹宇;李常茂 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/63 | 分类号： | G01N21/63;G01N21/01 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型属于激光探测技术领域，具体为一种激光探针微区成分分析仪。其结构为：激光器，扩束镜和第一全反射镜依次位于同一水平光路上；第一全反射镜的反射面与水平光路的夹角为45度；工业CCD位于第一全反射镜的上方，工业CCD和第一聚焦物镜自上而下依次放置且光轴重合；三维工作台的工作台面位于第一聚焦物镜的下方；全反射镜活动安装在样品的反射光路上，光纤探头位于全反射镜的反射光路上；工业CCD通过光纤与带有显示器的计算机连接，光纤探头与光栅光谱仪、增强型CCD和计算机连接。该激光探针仪能对物质微区元素进行无损探测，能满足各种材料及尺寸的器件的快速元素成分定性分析，还可以针对样品微区的微量甚至痕量元素进行高精度的定量分析。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 探针 成分 分析 | ||
【主权项】：
1、一种激光探针微区成分分析仪，其特征在于：激光器(1)、扩束镜(5)和第一全反射镜(7)依次位于同一水平光路上，第一全反射镜(7)的反射面与水平光路的夹角为45度；工业CCD(10)位于第一全反射镜(7)的上方，第一聚焦物镜(19)位于第一全反射镜(7)下方，第一聚焦物镜(19)和工业CCD(10)的光轴重合；三维工作台的工作台面位于第一聚焦物镜(19)的下方，用于放置样品(23)；第二全反射镜(9)活动安装在样品(23)的反射光路上，光纤探头(8)位于第一全反射镜(7)的反射光路上；工业CCD(10)通过光纤与带有显示器的计算机连接，光纤探头(8)通过光纤(25)依次与光栅光谱仪(27)、增强型CCD(28)相连，后者通过同轴电缆和计算机连接。
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