[实用新型]LPCVD垂直炉管的石英外管无效
| 申请号： | 200920074634.6 | 申请日： | 2009-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN201560235U | 公开（公告）日： | 2010-08-25 |
| 发明（设计）人： | 周利明 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 张骥 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种LPCVD垂直炉管的石英外管，顶端为穹顶封闭，所述穹顶边缘切线与直管外表面的夹角不小于150°。所述穹顶与直管的过渡弧面半径为45mm。所述穹顶的球面半径为220mm。本实用新型对石英外管的穹顶形状进行了改进，增大了石英外管穹顶与直管过渡弧面的曲率半径，减小了石英外管顶部曲线的变换幅度，使石英外管的顶部曲线更加圆滑，因而能够减少石英外管管壁工艺薄膜的应力，以减少颗粒掉落的机会。 | ||
| 搜索关键词： | lpcvd 垂直 炉管 石英 | ||
【主权项】：
一种LPCVD垂直炉管的石英外管，顶端为穹顶封闭，其特征在于：所述穹顶边缘切线与直管外表面的夹角不小于150°。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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