[实用新型]检测加热圈上交流电和射频共存的装置无效
| 申请号： | 200920073968.1 | 申请日： | 2009-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN201408745Y | 公开（公告）日： | 2010-02-17 |
| 发明（设计）人： | 陆斌;徐伯山;林振芳 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L21/66;H01L21/31 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孙大为 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种检测加热圈上交流电和射频共存的装置，包括：交流检测装置，其输入端连接至交流电接入加热线圈的连接点，所述输入端通过变压器连接到固态继电器的输入端；射频检测装置，其输入端连接至加热线圈前端继电器的控制电路的连接点，当射频开启或关闭时输出一电压至信号处理单元；信号处理单元，连接交流检测装置和射频检测装置的输出端，对所述交流检测装置的输出电压和射频检测装置的输出电压进行逻辑运算，检测到是否存在交流电和射频共存的情况。本实用新型可以有效监控是否存在交流电和射频同时出现在加热线圈上，从而保护加热线圈不因长时间过热被烧坏。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 加热 上交 流电 射频 共存 装置 | ||
【主权项】：
1.一种检测加热圈上交流电和射频共存的装置，其特征在于，包括：交流检测装置，其输入端连接至交流电接入加热线圈的连接点，所述输入端通过变压器连接到固态继电器的输入端，使得当接点的电压高于一特定值时，固态继电器导通，输出一电压至信号处理单元；射频检测装置，其输入端连接至加热线圈前端继电器的控制电路的连接点，当射频开启或关闭时输出一电压至信号处理单元；信号处理单元，连接交流检测装置和射频检测装置的输出端，对所述交流检测装置的输出电压和射频检测装置的输出电压进行逻辑运算，检测到是否存在交流电和射频共存的的情况。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
