[实用新型]一种工作平台移动机构

摘要

本实用新型属于半导体制造业中的工作平台移动机构，该移动机构包括基础框架、若干个固定盘、气浮、导轨、支架、工作平台、若干个拉杆、支撑板、固定螺栓、支撑架组件、轴套、气缸组件、固定盘和滚轮组件。该移动机构的气缸组件可以绕定位螺栓作旋转及伸缩运动，第一拉杆可以绕固定座旋转，第一拉杆在气缸组件推动下可以绕固定座旋转，第二拉杆可以绕固定螺栓旋转，第二拉杆在第一拉杆推动下可以绕固定螺栓旋转，第二拉杆可以推动工作平台作水平运动。该工作平台可以在有较大的行程，但要求安装的距离远远小于行程的距离的场合使用，同时可以实现在断电和断气的情况下对工作平台的维修需求。

主权项

一种工作平台移动机构，其特征在于，包括：基础框架(1)，若干个固定盘，气浮(3)，导轨(4)，若干个支架，工作平台(6)，若干个拉杆，支撑板(8)，固定螺栓(9)，支撑架组件(11)，若干个轴套，气缸组件(14)，固定座(16)，滚轮组件(21)其中，气浮(3)通过螺栓与导轨(4)安装在基础框架(1)上；第一定位螺栓(13)依次穿过气缸组件(14)和第二轴套(12)后，安装在基础框架(1)上；另一个第一定位螺栓(13)依次穿过气缸组件(14)和第一拉杆(15)后用螺母固定；固定座(16)安装在基础框架(1)上用螺栓固定，第一固定盘(19)和第一轴套(20)通过螺栓连接后，螺栓再次穿过第一拉杆(15)与固定座(16)固定；固定螺栓(9)依次套上两个第一轴套(20)后穿过第二拉杆(7)，用两个螺母将固定螺栓(9)固定，螺栓依次套上两个第一轴套(20)后穿过第一固定盘(19)后，再次穿过第二拉杆(7)和第二固定盘(2)后固定；滚轮组件(21)通过螺栓安装在工作平台(6)上，工作平台(6)组件安装在气浮(3)上，通过螺栓穿过第二固定盘后固定；第三支架(5)通过螺栓安装在基础框架(1)上，螺栓穿过第三支架(5)、支撑板与工作平台(8)固定；第二支架(17)通过螺栓安装在基础框架(1)上，第二定位螺栓(18)穿过第二支架(17)、支撑板(8)与工作平台(6)固定；第一支架(10)通过螺栓安装在基础框架(1)上，支撑架组件(11)通过螺栓安装在第一支架(10)上。