[实用新型]单晶炉用热屏无效
| 申请号： | 200920049164.8 | 申请日： | 2009-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN201506845U | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 袁伟进;黄强 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/14 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及单晶炉热系统中的一个重要装置，具体是一种单晶炉用热屏。它具有外热屏、内热屏以及位于外热屏和内热屏之间的保温层，外热屏和内热屏固定连接，外热屏的锥度为0.16-0.23，内热屏的锥度为0.52-0.63。通过调整内外热屏锥度，改变保温层厚度，使屏蔽效果更佳，硅单晶生长速度更快；外热屏锥度变小，外热屏底部略平，增大了氩气流速，增强了SiO等杂质的挥发，改善了硅单晶的生长环境，提高了硅单晶收率及质量。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉用热屏 | ||
【主权项】：
一种单晶炉用热屏，具有外热屏(1)、内热屏(2)以及位于外热屏(1)和内热屏(2)之间的保温层(3)，外热屏(1)和内热屏(2)固定连接，其特征是：外热屏(1)的锥度为0.16-0.23，内热屏(2)的锥度为0.52-0.63。
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