[实用新型]沉积大面积太阳电池用透明导电薄膜的喷涂装置

摘要

本实用新型公开了一种沉积大面积太阳电池用透明导电薄膜的喷涂装置，包括喷头，该喷头包括超声换能器、液体雾化生成器以及位于超声换能器和液体雾化生成器之间的连杆，所述连杆内设有液体输送通道，所述液体雾化生成器上设有与所述液体输送通道相连通的雾化面。所述超声换能器为压电陶瓷或磁致伸缩超声换能器；在所述超声换能器与连杆之间设有一密封壳体，该密封壳体内还设有由水冷却通道构成的水冷却机构，该喷涂装置还可安装有将加热的衬底或者喷头进行匀速行进的传动装置。本实用新型喷涂装置所沉积的大面积透明导电薄膜的质量及均匀性优良、结构简单，生产出的导电薄膜成本较低，适合在太阳电池透明导电薄膜生产中推广使用。

主权项

一种沉积大面积太阳电池用透明导电薄膜的喷涂装置，用于在加热的衬底表面上形成连续透明导电薄膜，其包括喷头，其特征在于：该喷头包括超声换能器(1)、液体雾化生成器(2)以及位于超声换能器(1)和液体雾化生成器(2)之间的连杆(3)，所述连杆(3)内设有液体输送通道(4)，所述液体雾化生成器(2)上设有与所述液体输送通道(4)相连通的雾化面(2-1)。