[实用新型]一种多晶硅化学气相沉积装置无效
| 申请号： | 200920029240.9 | 申请日： | 2009-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN201428008Y | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 李伟 | 申请（专利权）人： | 李伟 |
| 主分类号： | C30B28/14 | 分类号： | C30B28/14;C30B25/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 273500山东省济宁市邹*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅化学气相沉积装置，包括设置有底板的反应器壳体，所述底板上设置有气体进口和气体出口，所述底板上安装有设置有封闭顶盖的室管，所述室管与气体进口、气体出口相连通，所述反应器壳体侧壁外部设置有辐射加热装置。本实用新型能够提供一种更有效的由化学气相沉积产生多晶硅的装置，从而减少能耗并降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 化学 沉积 装置 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅化学气相沉积装置，包括设置有底板的反应器壳体，其特征在于，所述底板上设置有气体进口和气体出口，所述底板上安装有设置有封闭顶盖的室管，所述室管分别与所述气体进口、气体出口相连通，所述反应器壳体侧壁外部设置有辐射加热装置。
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