[实用新型]光学晶体测径仪

摘要

一种光学晶体测径仪，克服了现有技术操作繁琐、程序复杂、成本较高的问题，它包括有一个底座和由连接筒、目镜组、分划板、棱镜组、物镜组组成的瞄准镜，在底座上方固定连接有数显尺，数显尺的尺头与由半球座、压片、连接板和球座、锁紧钉组成的万向节固定连接，所述的瞄准镜固定在该万向节上。在实际测量中，利用光学显微镜瞄准转动的圆柱型单晶硅晶体的一侧母线，通过数显尺尺头带动显微镜镜筒同步移动，瞄准圆柱型单晶硅晶体的另一侧母线，数显尺尺头移动的距离，就是被测单晶硅晶体的直径，其有益效果是结构简单，操作方便，成本较低，同时也满足了测量精度的要求。

主权项

一种光学晶体测径仪，包括有一个底座[21]和由连接筒[8]、目镜组[2]、分划板[6]、棱镜组[9]、物镜组[11]组成的瞄准镜，其特征在于，在底座[21]上方固定连接有数显尺[20]，数显尺[20]的尺头与由半球座[15]、压片[16]、连接板[17]和球座[18]、锁紧钉[19]组成的万向节固定连接，所述的瞄准镜固定在该万向节上。