[实用新型]一种溅射镀铝工艺的气流控制装置无效
| 申请号： | 200920012347.2 | 申请日： | 2009-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN201395628Y | 公开（公告）日： | 2010-02-03 |
| 发明（设计）人： | 李健 | 申请（专利权）人： | 沈阳汉锋新能源技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 | 代理人： | 任玉龙 |
| 地址： | 110144辽宁省沈*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种溅射镀铝工艺的气流控制装置，其特征在于：所述的溅射镀铝工艺的气流控制装置中包括流量计，控制器，通讯线缆，电磁阀一，电磁阀二，电磁阀三；流量计通过通讯线缆与控制器连接，流量计与电磁阀一连接，对流量计起保护作用的电磁阀二和电磁阀三分别通过管道与流量计连接。本实用新型的优点：本实用新型所述的溅射镀铝工艺的气流控制装置，结构简单，控制气流的精度高，使用方便，必将具有广泛的市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 镀铝 工艺 气流 控制 装置 | ||
【主权项】：
1、一种溅射镀铝工艺的气流控制装置，其特征在于：所述的溅射镀铝工艺的气流控制装置中包括流量计(1)，控制器(2)，通讯线缆(3)，电磁阀一(4)，电磁阀二(5)，电磁阀三(6)；流量计(1)通过通讯线缆(3)与控制器(2)连接，流量计(1)与电磁阀一(4)连接，对流量计(1)起保护作用的电磁阀二(5)和电磁阀三(6)分别通过管道与流量计(1)连接。
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