[发明专利]一种在光学太阳反射镜上制备掺铝氧化锌薄膜的方法

摘要

一种在光学太阳反射镜上制备掺铝氧化锌薄膜的方法，它涉及薄膜的制备方法，本发明解决了现有的导电型光学太阳反射镜表面的氧化铟锡薄膜成本高、相组成复杂、制备方法操作复杂的问题。本发明的方法：一、光学太阳反射镜在洗液中浸泡、再清洗；二、将乙酸锌、稳定剂和掺杂剂加入溶剂中制成溶胶，三、将光学太阳反射镜浸入溶胶中，提拉成膜；四、将步骤三得到的薄膜烧结后得到在光学太阳反射镜上制备的掺铝氧化锌薄膜。本发明的方法制备的薄膜的光学透过率≥90％，薄膜的面电阻为8×103Ω/□～2×104Ω/□，可以应用于用于大、中型卫星的温度控制。本方法制备的薄膜成本低，制备方法简单。

主权项

一种在光学太阳反射镜上制备掺铝氧化锌薄膜的方法，其特征在于一种在光学太阳反射镜上制备掺铝氧化锌薄膜的方法按以下步骤进行：一、先将光学太阳反射镜用洗液浸泡3h～5h，然后再依次放入去离子水、无水乙醇和丙酮中超声清洗两次，每次5min～15min，最后放入100℃的烘箱中干燥10min～20min，得到洁净的光学太阳反射镜；二、将分析纯的乙酸锌、稳定剂、掺杂剂加入到溶剂中配制成乙酸锌的浓度为0.5mol/L‑2mol/L的溶液，其中乙酸锌与稳定剂的摩尔比为1∶0.5～2.5，乙酸锌与掺杂剂的摩尔比为100∶0.1～5，然后将溶液在50℃～65℃的水浴条件下搅拌4h～12h，再陈化24h～72h，形成透明溶胶；三、将经步骤一得到的洁净的光学太阳反射镜浸入到经步骤二制备的溶胶中，浸泡1min～15min后，以1cm/min～10cm/min的速度提拉出来，然后在50℃～150℃条件下保持10min～20min；四、将经步骤三处理的光学太阳反射镜放入烧结炉中，在空气气氛中将烧结炉以1℃/min～10℃/min的速度升温到200℃～400℃并保持0.5h～2h，然后再以1℃/min～5℃/min的速度继续升温至500℃～650℃并保持0.5h～3h，最后自然冷却到室温，即得到在光学太阳反射镜上制备的掺铝氧化锌薄膜。