[发明专利]基于二极管激光器自混合效应的MEMS动态测试仪无效
| 申请号： | 200910309832.0 | 申请日： | 2009-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN101706579A | 公开（公告）日： | 2010-05-12 |
| 发明（设计）人： | 张照云;高杨;赵兴海;苏伟;赵翔 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | G01S17/58 | 分类号： | G01S17/58;G01H9/00;G01H13/00;G01B11/24 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 翟长明;韩志英 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于二极管激光器自混合效应的MEMS动态测试仪，所述的测试仪的激光器发出的光经耦合透镜耦合进光纤，经由自聚焦透镜、显微镜目镜、显微镜物镜组成的汇聚光路将激光汇聚于被测物体上，被测物体位于能在水平面进行逐点扫描及垂直面移动的PZT控制的三维位移台上，探测器探测到激光器输出的光信号后发出相应的输出信号，输出信号经信号调理电路的调节通过信号采集系统采集送入信号处理系统进行处理。本发明是一种结构小巧、造价低廉的MEMS动态测试仪器。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 二极管 激光器 混合 效应 mems 动态 测试仪 | ||
【主权项】：
一种基于二极管激光器自混合效应的MEMS动态测试仪，其特征在于：所述的测试仪的激光器(1)发出的光经耦合透镜(2)耦合进光纤(3)，经由自聚焦透镜(4)、显微镜目镜(5)、显微镜物镜(6)组成的汇聚光路将激光汇聚于被测物体上，被测物体位于能在水平面进行逐点扫描及垂直面移动的PZT控制的三维位移台(7)上，探测器(8)探测到激光器输出的光信号后发出相应的输出信号，输出信号经信号调理电路(9)的调节通过信号采集系统(10)采集送入信号处理系统(11)进行处理。
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