[发明专利]基于定向碳纳米管的太阳能微电池制备方法

摘要

一种太阳能电池技术领域的基于定向碳纳米管的太阳能微电池制备方法，包括：将碳纳米管超声于有机溶剂中形成稳定分散的碳纳米管悬浮液；在基底上采用光刻技术制作出分别具有高功函数和低功函数的两个非对称金属电极对；在非对称电极对上施加交变偏压，然后将碳纳米管悬浮液滴加在两个电极上，使碳纳米管在双向电泳力的作用下在非对称电极之间形成定向碳纳米管；采用大电流选择性烧断法或甲烷等离子体选择性刻蚀法去除定向碳纳米管中的金属性碳纳米管，制得太阳能微电池。该微电池具有构造简单、长期使用稳定性高，能产生高的开路电压和效率。

主权项

1.一种基于定向碳纳米管的太阳能微电池制备方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步、将碳纳米管超声分散于有机溶剂中，形成碳纳米管悬浮液；第二步、在基底上采用光刻技术制作出非对称电极对；第三步、在非对称电极对上施加交变偏压，然后将碳纳米管悬浮液分别滴加在非对称电极对的两个电极上，使碳纳米管在双向电泳力的作用下在非对称电极之间形成定向碳纳米管薄膜；第四步、采用大电流选择性烧断去除法或甲烷等离子体选择性刻蚀去除法去除定向碳纳米管薄膜中的金属性碳纳米管，然后以硅衬底作为栅极得到碳纳米管太阳能微电池。