[发明专利]原子层沉积装置

摘要

本发明公开一种可以同时装载和卸载多个基板的原子层沉积装置。所述原子层装置在利用处理模块移动多个基板时可以将所述基板装载和卸载，其包括：装卸载模块，其用于装载和卸载基板；处理模块，其具备同时收纳多个基板执行沉积工程的多个处理室，并具备吸入所述处理室中央部分的排放气体向所述处理室上部排出的配备有排气器的气体喷射单元；和传送模块，其处于所述装卸载模块和所述处理模块之间移送所述基板，具备将多个基板同时拾取移送的传送机器人。

主权项

一种原子层沉积装置，其特征在于，包括：装卸载模块，其装载和卸载基板；处理模块，其具备同时收纳多个基板执行沉积工程的多个处理室，并具备吸入所述处理室中央部分的排放气体向所述处理室上部排出的配备有排气器的气体喷射单元；和传送模块，其处于所述装卸载模块和所述处理模块之间移送所述基板，具备将所述多个基板同时拾取移送的传送机器人。