[发明专利]太阳能高温吸热CrFeON薄膜及其制备工艺有效
| 申请号： | 200910264730.1 | 申请日： | 2009-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN101776338A | 公开（公告）日： | 2010-07-14 |
| 发明（设计）人： | 钱涛 | 申请（专利权）人： | 星弧涂层科技(苏州工业园区)有限公司 |
| 主分类号： | F24J2/48 | 分类号： | F24J2/48;C23C14/06;C23C14/35;B32B15/04 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陆明耀;陈忠辉 |
| 地址： | 215022江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种采用磁控溅射技术来制备的高温吸热薄膜及其制备工艺，其包括用于吸热的CrFe纯金属第一层膜层，用于吸热和减反的CrFeON第二层膜层，用于吸热和减反的CrFeON的第三层膜层以及用于减反的SnO第四层膜层，所述四层膜层在磁控溅射过程中都施加有300V～500V偏压。本发明的有益效果主要体现在：太阳能吸热薄膜可用于500℃以上的高温环境，且具有对太阳能吸收率高、发射率低以及热稳定性高的性能；制备该太阳能吸热薄膜的工艺也简单高效，具有很好的推广价值。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能 高温 吸热 crfeon 薄膜 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】：
一种太阳能高温吸热CrFeON薄膜，设置于金属基板上，其特征在于：包括通过磁控溅射工艺设于所述金属基板上的用于吸热的CrFe纯金属第一层膜层，用于吸热和减反的CrFeON第二层膜层，用于吸热和减反的CrFeON的第三层膜层，以及用于减反的SnO第四层膜层，所述四层膜层在磁控溅射过程中都施加有300V～500V偏压。
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