[发明专利]液体排出头和液体排出头用基板的制造方法有效
| 申请号： | 200910259421.5 | 申请日： | 2009-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN101746143A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 森末将文;铃木工;久保田雅彦;柬理亮二;冈野明彦;平本笃司 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16;B41J2/14 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本东京都大*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及液体排出头和液体排出头用基板的制造方法。液体排出头包括Si基板和液体供给口，所述Si基板设置有产生用于排出液体的能量的元件，设置所述液体供给口以从第一表面至背面穿过所述Si基板，从而向所述元件供给液体。所述基板的制造方法包括以下步骤：在面取向为{100}的Si基板背面上形成多个凹部，所述凹部面向所述第一表面并沿所述Si基板的<100>方向成行排列；和使用Si基板{100}面的蚀刻速率比Si基板{110}面的蚀刻速率慢的蚀刻液，经由凹部，通过在Si基板上进行晶轴各向异性蚀刻而形成多个液体供给口。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 出头 用基板 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种液体排出头用基板的制造方法，所述液体排出头包括Si基板和液体供给口，所述Si基板在第一表面上设置有产生用于排出液体的能量的元件，设置所述液体供给口以从所述第一表面至其背面穿过所述Si基板，从而向所述元件供给液体，所述方法包括以下步骤：在面取向为{100}的Si基板的背面上形成多个凹部，以使得所述凹部沿所述Si基板的<100>方向成行排列，所述凹部面向所述第一表面；和使用所述Si基板{100}面的蚀刻速率比所述Si基板{110}面的蚀刻速率慢的蚀刻液，经由所述凹部，通过在所述Si基板上进行晶轴各向异性蚀刻而形成多个液体供给口。
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