[发明专利]具有旋转传动和改善的电性质的微电子机械陀螺仪有效
| 申请号： | 200910258473.0 | 申请日： | 2009-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN101920927A | 公开（公告）日： | 2010-12-22 |
| 发明（设计）人： | L·科罗纳托;G·卡扎尼加;S·泽比尼 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;G01C19/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王岳;李家麟 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： |
本发明涉及具有旋转传动和改善的电性质的微电子机械陀螺仪，其具有：芯片(2)，具有衬底(2)和框架(2b)，其内限定检测区域(2c)并具有沿第一水平轴(x)延伸的第一侧边；驱动块(3)，锚定到衬底(2)，设置在检测区域(2c)中，并设计成在平面(xy)内旋转，进行围绕垂直轴(z)的激励运动；第一对(16a’、16b’)和第二对(16c’、16d’)第一传感块，通过弹性支撑元件(20)悬在驱动块(3)内，以在激励运动中相对于驱动块(3)固定并响应第一角速度 |
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| 搜索关键词： | 具有 旋转 传动 改善 性质 微电子 机械 陀螺仪 | ||
【主权项】：
1.一种集成的微电子机械结构(30)，其特征在于包括：芯片(2)，包括衬底(2a)和框架(2b)，框架(2b)在其内限定检测区域(2c)并具有沿第一水平轴(x)延伸的第一侧边；驱动块(3)，通过弹性锚定元件(8a，8b)锚定到所述衬底(2)，设置在所述检测区域(2c)中，并被设计成在平面(xy)内旋转，进行围绕垂直轴(z)的激励运动；第一对(16a’、16b’)和第二对(16c’、16d’)第一传感块，通过相应弹性支撑元件(20)悬在所述驱动块(3)内并与所述驱动块(3)耦合，以在所述激励运动中相对于所述驱动块(3)固定，并响应于第一角速度(![]()
)执行离开所述平面(xy)的旋转检测运动；所述第一对(16a’、16b’)第一传感块和所述第二对(16c’、16d’)第一传感块在相应方向(x1，x2)上对齐，所述方向(x1，x2)相对于所述第一水平轴具有相反符号的非零倾斜。
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