[发明专利]抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 200910253948.7 | 申请日： | 2009-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN101900942A | 公开（公告）日： | 2010-12-01 |
| 发明（设计）人： | 安藤信雄;武元一树 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 顾晋伟;王春伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
一种抗蚀剂组合物，包含：(A)树脂，其在碱性水溶液中不可溶或可溶性差，但通过酸的作用变为在碱性水溶液中可溶，(B)式(1)所表示的多元酚化合物： |
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| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂组合物，包含：(A)树脂，其在碱性水溶液中不可溶或可溶性差，但通过酸的作用变为在碱性水溶液中可溶，(B)式(1)所表示的多元酚化合物：![]()
其中选自R1、R2、R3、R4和R5中的至少一个是式(2)所表示的基团，其他的是氢原子：![]()
其中X1和X2各自独立地表示氢原子或C1-C4烷基，n代表1～4的整数，Z1表示C1-C6烷基或C3-C12环烷基，并且环Y表示脂环烃基，和(C)产酸剂。
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