[发明专利]阵列基板检测装置及方法有效
| 申请号： | 200910249637.3 | 申请日： | 2009-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN102053400A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 朴种贤 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G01R1/073;G01R31/02 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 郭放;黄启行 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种阵列基板检测装置和方法。所述阵列基板检测装置包括用于转动探针棒的转动部件，每一个探针棒配置有多个探针，以允许所述探针对应于阵列基板的多个电极，因而有效地对多个电极的位置和布置方向不同的各种类型的阵列基板进行检测。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种阵列基板检测装置，包括：布置在探针头支承件上的探针头，能够在所述探针头支承件的纵向上移动；设置在所述探针头上的探针棒，每一个探针棒上布置有多个探针；和转动部件，用于转动所述探针棒。
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