[发明专利]声光可调谐滤波器参数定标系统

摘要

声光可调谐滤波器(Acousto-optic Tunable Filter，AOTF)参数定标系统，由控制和处理计算机、光栅单色仪、汞氩气体光源、光路部分、精密电控转台、高精密射频驱动器、光电倍增管、CCD光强分布探测器、精密电控平移导轨组成，光路部分主要由反射镜、半透半反镜、格兰泰勒棱镜、准直透镜、光阑、聚焦透镜组成。本发明的定标系统完备，定标精度高，可对AOTF光束入射角、离轴角θa、角孔径δ、波长响应函数、波长频率调谐关系、偏转角β等参数进行自动定标，适用于AOTF产品的指标检验，AOTF光谱和成像特性研究，还可为AOTF光谱仪的集成提供技术参数。

主权项

声光可调谐滤波器参数定标系统，其特征在于：包括：光栅单色仪(2)和汞氩气体光源(3)：作为系统的定标光源，位于系统最前端，光栅单色仪(2)输出波长标准、连续可变的单色光，汞氩气体光源(3)输出的光束具有分立状气体特征谱线；光路部分(15)：位于光栅单色仪(2)和汞氩气体光源(3)后端，由反射镜(4)、半透半反镜(5)、格兰泰勒棱镜(6)、准直透镜(7)、光阑(8)和聚焦透镜(9)按照前后次序组合而成，实现对入射光束的起偏、准直或者会聚；一个光电倍增管(12)：首先置于待定标声光可调谐滤波器(16)的前面，测量入射声光可调谐滤波器光的光功率；然后置于待定标声光可调谐滤波器(16)的后面，测量声光可调谐滤波器衍射光的光功率；精密电控转台(10)：位于光路部分(15)后面，用于装载待定标声光可调谐滤波器(16)器件，由内置的步进电机驱动，带动声光可调谐滤波器精确旋转；高精密射频驱动器(11)：与待定标声光可调谐滤波器(16)器件相连，为声光可调谐滤波器提供射频驱动信号；精密电控平移导轨(14)：位于待定标声光可调谐滤波器(16)后面，由内置的步进电机驱动，用于搭载并带动CCD光强分布探测器(13)精密平移；CCD光强分布探测器(13)：置于精密电控平移导轨(14)上方，用于测量声光可调谐滤波器分光后的衍射光束和非衍射光束空间位置；控制和处理计算机(1)：控制光栅单色仪(2)改变输出波长，控制高精密射频驱动器(11)改变射频驱动信号的功率和频率，控制精密电控转台(10)和精密电控平移导轨(14)进行精确运动，从光电倍增管(12)获取光功率值，从CCD光强分布探测器(13)获取光束空间位置数据，并运行数据处理程序，得到声光可调谐滤波器的定标参数信息。