[发明专利]在低温衬底上制备FTO透明导电薄膜的方法有效
| 申请号： | 200910236527.3 | 申请日： | 2009-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN102041505A | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | 黄小铭;孟庆波;罗艳红;李冬梅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | C23C26/00 | 分类号： | C23C26/00;B32B7/12;B32B37/26 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种在低温衬底上制备FTO透明导电薄膜的方法，包括：在高温下在耐高温衬底上制备FTO薄膜；通过透明粘结剂将所述FTO薄膜与低温衬底粘结在一起，得到包含有耐高温衬底、FTO薄膜、透明粘结剂以及低温衬底的膜片；将所得到的膜片投入到化学处理液中，待所述耐高温衬底完全溶于所述化学处理液后，取出由FTO薄膜、透明粘结剂以及低温衬底所组成的FTO透明导电薄膜；其中，所述化学处理液能够去除所述的耐高温衬底，且不会与所述的FTO薄膜、透明粘结剂以及低温衬底发生反应。本发明彻底解决了在低温衬底上不能制备FTO透明导电薄膜的难题。 | ||
| 搜索关键词： | 低温 衬底 制备 fto 透明 导电 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种在低温衬底上制备FTO透明导电薄膜的方法，包括：步骤1)、在高温下在耐高温衬底(1)上制备FTO薄膜(2)；步骤2)、通过透明粘结剂(3)将所述FTO薄膜(2)与低温衬底(4)粘结在一起，得到包含有耐高温衬底(1)、FTO薄膜(2)、透明粘结剂(3)以及低温衬底(4)的膜片；步骤3)、将步骤2)所得到的膜片投入到化学处理液中，待所述耐高温衬底(1)完全溶于所述化学处理液后，取出由FTO薄膜(2)、透明粘结剂(3)以及低温衬底(4)所组成的FTO透明导电薄膜；其中，所述化学处理液能够去除所述的耐高温衬底(1)，且不会与所述的FTO薄膜(2)、透明粘结剂(3)以及低温衬底(4)发生反应。
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