[发明专利]拉制平肩锗红外单晶的方法无效

专利信息
申请号: 200910233349.9 申请日: 2009-10-20
公开(公告)号: CN101705517A 公开(公告)日: 2010-05-12
发明(设计)人: 薛玲玲 申请(专利权)人: 南京中锗科技股份有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/08
代理公司: 南京知识律师事务所 32207 代理人: 张苏沛
地址: 211165*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种拉制平肩锗红外单晶的方法,其特征在于:采用埚转、晶转,不提拉,热量随籽晶杆带走,待液面出现需要控制的锗单晶直径时,启动提拉按钮开始提拉,根据锗单晶直径不同,提拉速度控制在10~50mm/h。其工艺要点在于:配备适当的保温系统,保证有足够的径向温度梯度,利于锗单晶放肩过程的正常生产;放肩时,将晶升停止;转肩前先升温,确保锗单晶肩边缘温度够高再调晶升速率至正常拉晶值。
搜索关键词: 拉制 平肩锗 红外 方法
【主权项】:
一种拉制平肩锗红外单晶的方法,其特征在于:采用埚转、晶转,不提拉,热量随籽晶杆带走,待液面出现需要控制的锗单晶直径时,启动提拉按钮开始提拉,根据锗单晶直径不同,提拉速度控制在10~50mm/h。
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