[发明专利]拉制平肩锗红外单晶的方法无效
| 申请号: | 200910233349.9 | 申请日: | 2009-10-20 |
| 公开(公告)号: | CN101705517A | 公开(公告)日: | 2010-05-12 |
| 发明(设计)人: | 薛玲玲 | 申请(专利权)人: | 南京中锗科技股份有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/08 |
| 代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 张苏沛 |
| 地址: | 211165*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种拉制平肩锗红外单晶的方法,其特征在于:采用埚转、晶转,不提拉,热量随籽晶杆带走,待液面出现需要控制的锗单晶直径时,启动提拉按钮开始提拉,根据锗单晶直径不同,提拉速度控制在10~50mm/h。其工艺要点在于:配备适当的保温系统,保证有足够的径向温度梯度,利于锗单晶放肩过程的正常生产;放肩时,将晶升停止;转肩前先升温,确保锗单晶肩边缘温度够高再调晶升速率至正常拉晶值。 | ||
| 搜索关键词: | 拉制 平肩锗 红外 方法 | ||
【主权项】:
一种拉制平肩锗红外单晶的方法,其特征在于:采用埚转、晶转,不提拉,热量随籽晶杆带走,待液面出现需要控制的锗单晶直径时,启动提拉按钮开始提拉,根据锗单晶直径不同,提拉速度控制在10~50mm/h。
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