[发明专利]声光可调谐滤光器衍射效率测试系统及测试方法

摘要

本发明公开了一种声光可调谐滤光器衍射效率测试系统。该系统由波长可调谐激光器、中性密度滤光片、光阑孔、分束镜、二维电动转台、能量计组成。波长可调谐激光器可生成波长连续可调的激光光束，经过中性密度滤光片及光阑孔后，由分束镜分成固定分束比的两束激光，反射光束能量作为参考能量；透射光束进入AOTF，在对其施加射频驱动时接收衍射光能量，未施加驱动时接收直接透过的能量，从而计算AOTF的衍射效率。同时，通过二维电动转台改变入射光角度可实现孔径角的测量。本发明装置的特点在于原理简单、可操作性强，可满足AOTF测试连续波长的需求，同时利用分束镜产生参考光束可大幅提高测试精度。

主权项

一种声光可调谐滤光器衍射效率测试系统，它包括波长可调谐激光器(1)、中性密度滤光片(2)、光阑孔(3)、分束镜(4)、二维电动转台(5)、能量计探头(61、62)，其特征在于：所述的测试装置中的光源采用波长可调谐激光器(1)；所述的波长可调谐激光器(1)发出的激光光束依次通过中性密度滤光片(2)、光阑孔(3)后由分束镜(4)分出一路参考光路，能量计探头(62)测出参考光路的激光能量用于补偿激光能量不稳定以及探头响应不一致引起的测量误差。