[发明专利]液态金属微流体机械惯性导电开关无效
| 申请号： | 200910216251.2 | 申请日： | 2009-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN101702389A | 公开（公告）日： | 2010-05-05 |
| 发明（设计）人： | 杨涛;梁晋涛;韩宾;刘婷婷;李磊民;谭先吉;冯月晖;周玲;陈花卫;张珂 | 申请（专利权）人： | 西南科技大学 |
| 主分类号： | H01H35/14 | 分类号： | H01H35/14;H01H29/00;H01H59/00;H01H11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 621010 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种液态金属微流体机械惯性开关，包括敏感单元永磁微机械惯性开关和致动单元液态金属微流体静电开关。液态金属微流体机械惯性开关采用微加工工艺制作，采用激光后工艺修调调整开关精度和阈值，采用环氧键合或局部加热键合的方法对微通道结构进行封装。本发明具有体积小、结构简单、低接触电阻、可有效控制开关阈值和精度、开关允许通过的电流大、高可靠性的特点。微加工工艺可进行批量生产，降低器件成本。 | ||
| 搜索关键词： | 液态 金属 流体 机械 惯性 导电 开关 | ||
【主权项】：
一种液态金属微流体机械惯性开关，包括永磁微机械惯性开关【9】与液态金属微流体开关【17】。其特征在于：传感和致动分别由永磁微机械惯性开关与液态金属微流体开关分别承担。
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