[发明专利]硅太阳能电池片电极电镀设备有效
申请号: | 200910215298.7 | 申请日: | 2009-12-30 |
公开(公告)号: | CN101760770A | 公开(公告)日: | 2010-06-30 |
发明(设计)人: | 欧萌;赵晓明;张蕾;胡子卿;孟晓涛;谢振民 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第二研究所 |
主分类号: | C25D7/12 | 分类号: | C25D7/12;H01L21/288 |
代理公司: | 山西科贝律师事务所 14106 | 代理人: | 陈奇 |
地址: | 030024 *** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本发明公开了一种硅太阳能电池片电极电镀设备,解决了现有技术存在的单片太阳能电池片中的多晶硅所占面积与被印导线的面积之比小及镀层质量差的问题。包括在机架(37)内设置的多组各自独立的电镀液槽(38)、电镀液泵及输送管路(39)、电镀整流器电源(43),在封闭的罩体(40)内顶部设置有行车导轨(41)和搬运小车(42),在上、下料位之间设置有多组电镀液槽(38)和喷杯(36)和导电针固定调整机构(25),喷杯下腔体(23)中固定设置有电镀阳极固定架(26)和电镀阳极网(27),在喷杯下腔体(23)的外腔体上设置有电镀阳极引出柱(35)和电镀溶液进入口,大大提高了单片多晶硅片的质量。 | ||
搜索关键词: | 太阳能电池 电极 电镀 设备 | ||
【主权项】:
一种硅太阳能电池片电极电镀设备,包括机架(37)、在机架(37)内设置的多组各自独立的电镀液槽(38)和电镀液泵及输送管路(39)以及电镀整流器电源(43),在机架(37)上设置有封闭的罩体(40),在封闭的罩体(40)内顶部设置有左右水平方向的行车导轨(41),在该行车导轨(41)上设置有可左右水平方向移动及上下垂直移动的搬运小车(42),在机架工作面的左端设置有硅片的上料位(44),在机架工作面的右端设置有硅片的下料位(45),在上料位(44)与下料位(45)之间设置有所述的多组电镀液槽(38),在每组电镀液槽(38)中设置有喷杯(36),其特征在于:所述的喷杯(36)由盆体形状的喷杯下腔体(23)、倒扣在喷杯下腔体(23)上的盆体形状的喷杯上腔体(24)和导电针固定调整机构(25)组成,所述的喷杯下腔体(23)中固定设置有电镀阳极固定架(26),在该电镀阳极固定架(26)上活动设置有电镀阳极网(27),在喷杯下腔体(23)的外腔体上设置有电镀阳极引出柱(35)和电镀溶液进入口,电镀溶液进入口与电镀液泵及输送管路(39)连通,电镀阳极引出柱(35)与电镀整流器电源(43)电连接;所述的倒扣的盆体形状的喷杯上腔体(24)的盆底为活动设置在盆底位置处的被镀的硅片(20),在喷杯上腔体(24)的盆边沿的上边沿四周分别设置有锯齿形溢流槽(29)和硅片的限位条(30),在喷杯上腔体(24)的溢流檐(28)上相对设置有一对导电针固定调整机构(25)的固定柱(31),导电针固定调整机构(25)通过固定座(19)固定在固定柱(31)上,两组导电支撑针分别穿过喷杯上腔体(24)的腔体壁设置在喷杯上腔体(24)中并分别与硅片(20)上的两导电主线槽活动支撑接触在一起,在喷杯下腔体(23)与喷杯上腔体(24)之间设置有密封条(33);所述的导电针固定调整机构(25)包括:长方体形的导槽件(1)、在导槽件(1)上分别设置的第一方形导槽(2)和第二方形导槽(3)、在第一方形导槽(2)中活动设置的第一T形调节块(8)、在第二方形导槽(3)中活动设置的第二T形调节块、第一导电支撑针(17)和第二导电支撑针(18),在所述的第一方形导槽(2)内的左右两内侧设置有一对支撑转轴固定孔(5),在第一导槽(2)内的底板上设置有调节螺栓(11)的固定螺孔(4),在所述的第一T形调节块(8)的底块上设置有左右水平方向的支撑转轴通过孔(9),在第一T形调节块(8)的顶块上分别设置有上下垂直方向的调节螺栓(11)的通过孔(10)和上下垂直方向的第一顶丝(16)的通过孔,在第一T形调节块(8)的顶块的前后侧面之间设置有前后水平方向的第一组导电支撑针插入孔(14),支撑转轴(6)穿过第一T形调节块(8)的底块上设置的左右水平方向的支撑转轴通过孔(9)和第一方形导槽(2)内的左右两内侧设置的一对支撑转轴固定孔(5)将第一T形调节块(8)支撑设置在第一方形导槽(2)内,调节螺栓(11)依次穿过调节螺母(12)、第一T形调节块(8)的顶块上的通过孔(10)和调节压簧(7)与第一方形导槽(2)内的底板上设置的固定螺孔(4)螺接在一起,第一导电支撑针(17)活动设置在第一组支撑针插入孔(14)中,第一顶丝(16)的通过孔与第一组导电支撑针插入孔(14)连通,第一顶丝(16)活动设置在该通过孔中,在导槽件(1)上设置有电镀阴极引出柱(34)并与电镀整流器电源(43)电连接。
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