[发明专利]一种含氟组合液有效
| 申请号： | 200910197952.6 | 申请日： | 2009-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN102051281A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 刘兵;彭洪修;孙广胜 | 申请（专利权）人： | 安集微电子(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C11D7/32 | 分类号： | C11D7/32;C11D7/26;C11D7/08;C11D7/50 |
| 代理公司： | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江高*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种含氟组合液，其含有含羧基聚合物、胍类、氟化物和载体，对金属钛的腐蚀具有明显的抑制作用。而含氟组合液是在半导体工业中广泛使用的清洗液之一，而金属钛是半导体中常用的材料之一，故对金属钛腐蚀速率的控制，一直是半导体清洗液长期追求的目标之一，故金属钛腐蚀速率较小的含氟组合液在半导体晶片清洗领域有着更为广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组合 | ||
【主权项】：
一种含氟组合液，其包含：含羧基聚合物、胍类、氟化物和载体。
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