[发明专利]一种用准分子激光器打孔技术加工喷丝孔的方法无效

专利信息
申请号: 200910196837.7 申请日: 2009-09-30
公开(公告)号: CN102029472A 公开(公告)日: 2011-04-27
发明(设计)人: 李友宝;寇华敏;潘鼎;励永平;潘裕柏;陈惠芳;励才勋;张庆青;郭景坤;高国忠;李包顺 申请(专利权)人: 宁波东联密封件有限公司;中国科学院上海硅酸盐研究所;东华大学
主分类号: B23K26/38 分类号: B23K26/38;B23K26/06
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地址: 315191 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及一种用准分子激光器打孔技术加工喷丝孔的方法,所述的喷丝孔由导孔和直孔组成,其特征在于直孔加工所使用的准分子激光器的波长为150~400nm,选择脉冲为80~120个/秒,单个脉冲能量为300~400mJ,使用的工作气体由Kr、Ne、He或Ar惰性辅助气体与卤素组成,喷丝孔的材质为陶瓷、金属或玻璃。与现有的激光器相比,准分子激光器具行脉冲能量特别大的突出特性,单个光子能量可以达到3.5~7.8ev,当其高能量的光子照射到材料时,直接破坏材料的分子键而得到设定的加工形状。其他激光器由于是依靠光束聚焦的热效应进行打孔加工,准分子激光器是未来制备高强度、大长径比陶瓷喷丝板的理想方法。
搜索关键词: 一种 准分子激光 打孔 技术 加工 喷丝孔 方法
【主权项】:
一种用准分子激光器打孔技术加工喷丝孔的方法,所述的喷丝孔由导孔和直孔组成,其特征在于直孔加工所使用的准分子激光器的波长为150~400nm,选择脉冲为80~120个/秒,单个脉冲能量为300~400mJ,使用的工作气体由Kr、Ne、He或Ar惰性辅助气体与卤素组成,喷丝孔的材质为陶瓷、金属或玻璃。
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