[发明专利]一种化学机械研磨刮伤的检测方法有效
| 申请号： | 200910195835.6 | 申请日： | 2009-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN102023106A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 朱也方;李建平 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种化学机械研磨刮伤的检测方法，包括：将完成化学机械研磨的晶圆在氧化性酸溶液中浸泡一定时间；对所述经过浸泡的晶圆进行检测。本发明解决了现有技术中不容易检测细微刮伤的技术问题，使细微刮伤被加强，使检测结果的精确度更高了。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 研磨 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种化学机械研磨刮伤的检测方法，包括：将完成化学机械研磨的晶圆在氧化性酸溶液中浸泡一定时间；对所述经过浸泡的晶圆进行检测。
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