[发明专利]纳米粒子制备及与粉体材料原位复合装置无效
| 申请号： | 200910188239.5 | 申请日： | 2009-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN102050425A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 王平;康向东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及粉体纳米复合材料制备装置，具体为一种纳米粒子制备及与粉体材料原位复合装置，实现纳米粒子的制备，以及纳米粒子与粉体材料的原位复合，普遍适用于制备各种粉体纳米复合材料。该装置包括纳米颗粒制备系统、纳米颗粒/粉体材料复合系统及进样/取样系统，纳米颗粒制备系统设有真空室、离子源、转靶，离子源一端伸入真空室内，转靶设置于真空室内、与离子源的溅射方向相对应，离子源另一端连有离子源电源和高纯氩气体钢瓶；复合系统设有反弹盘，反弹盘设置于真空室内的下方，与转靶反射的方向相对应；进样/取样系统设有手套操作箱，真空室一侧的密封舱门伸到手套操作箱中，手套操作箱上连有机械泵、循环净化系统和高纯惰性气体钢瓶。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 粒子 制备 材料 原位 复合 装置 | ||
【主权项】：
一种纳米粒子制备及与粉体材料原位复合装置，其特征在于，该装置包括纳米颗粒制备系统、纳米颗粒/粉体材料复合系统及进样/取样系统，其中：纳米颗粒制备系统设有真空室、离子源、转靶，离子源一端伸入真空室内，转靶设置于真空室内、与离子源的溅射方向相对应，离子源另一端连有离子源电源和高纯氩气体钢瓶；复合系统设有反弹盘，反弹盘设置于真空室内的下方，与转靶反射的方向相对应；进样/取样系统设有手套操作箱，真空室一侧的密封舱门伸到手套操作箱中，手套操作箱上连有机械泵、循环净化系统和高纯惰性气体钢瓶。
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