[发明专利]一种制备铌溅射靶材的方法有效

专利信息
申请号: 200910180107.8 申请日: 2009-09-29
公开(公告)号: CN101660130A 公开(公告)日: 2010-03-03
发明(设计)人: 宜楠;张锟宇;孙毅;王飞;李俊;于乐庆;赵鸿磊 申请(专利权)人: 西部金属材料股份有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;C23C14/14;C22F1/18;C21D1/26
代理公司: 中国有色金属工业专利中心 代理人: 李迎春
地址: 710065陕西*** 国省代码: 陕西;61
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及一种制备铌溅射靶材的方法,其特征在于其制备过程的步骤依次包括:(1)将直径Φ300-330mm的铌锭,在900~1100℃温度下,挤压成直径为100-150mm的铌棒,控制挤压比大于7;(2)将铌棒加热至500~700℃均温后,使用空气锤镦锻整形为板坯,其中控制前两道次镦锻的加工率≥30%;(3)将板坯进行中间退火,退火温度为900~1100℃,保温时间为1-2h;(4)将退火后的板坯进行轧制,控制前两道次的加工率单道次大于35%,后续轧制加工率大于20%;(5)将轧制后的成品退火。本发明的方法,采用大加工率高温挤压,使铌棒挤压过程中发生动态再结晶,使晶粒充分破碎,降低铸锭芯部与边缘的晶粒大小差异,保证了晶粒取向一致,终获得70%以上的[111]型织构。
搜索关键词: 一种 制备 溅射 方法
【主权项】:
1.一种制备铌溅射靶材的方法,其特征在于其制备过程的步骤依次包括:(1)将直径Φ300-330mm的铌锭,在900~1100℃温度下,挤压成直径为100-150mm的铌棒,控制挤压比大于7;(2)将铌棒加热至500~700℃均温后,使用空气锤镦锻整形为板坯,其中控制前两道次镦锻的加工率≥30%;(3)将板坯进行中间退火,退火温度为900~1100℃,保温时间为1-2h;(4)将退火后的板坯进行轧制,控制前两道次的加工率单道次大于35%,后续轧制加工率大于20%;(5)将轧制后的成品在850~950℃温度下退火,保温时间为1-1.5h。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西部金属材料股份有限公司,未经西部金属材料股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200910180107.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top