[发明专利]一种制备铌溅射靶材的方法有效
申请号: | 200910180107.8 | 申请日: | 2009-09-29 |
公开(公告)号: | CN101660130A | 公开(公告)日: | 2010-03-03 |
发明(设计)人: | 宜楠;张锟宇;孙毅;王飞;李俊;于乐庆;赵鸿磊 | 申请(专利权)人: | 西部金属材料股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/14;C22F1/18;C21D1/26 |
代理公司: | 中国有色金属工业专利中心 | 代理人: | 李迎春 |
地址: | 710065陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种制备铌溅射靶材的方法,其特征在于其制备过程的步骤依次包括:(1)将直径Φ300-330mm的铌锭,在900~1100℃温度下,挤压成直径为100-150mm的铌棒,控制挤压比大于7;(2)将铌棒加热至500~700℃均温后,使用空气锤镦锻整形为板坯,其中控制前两道次镦锻的加工率≥30%;(3)将板坯进行中间退火,退火温度为900~1100℃,保温时间为1-2h;(4)将退火后的板坯进行轧制,控制前两道次的加工率单道次大于35%,后续轧制加工率大于20%;(5)将轧制后的成品退火。本发明的方法,采用大加工率高温挤压,使铌棒挤压过程中发生动态再结晶,使晶粒充分破碎,降低铸锭芯部与边缘的晶粒大小差异,保证了晶粒取向一致,终获得70%以上的[111]型织构。 | ||
搜索关键词: | 一种 制备 溅射 方法 | ||
【主权项】:
1.一种制备铌溅射靶材的方法,其特征在于其制备过程的步骤依次包括:(1)将直径Φ300-330mm的铌锭,在900~1100℃温度下,挤压成直径为100-150mm的铌棒,控制挤压比大于7;(2)将铌棒加热至500~700℃均温后,使用空气锤镦锻整形为板坯,其中控制前两道次镦锻的加工率≥30%;(3)将板坯进行中间退火,退火温度为900~1100℃,保温时间为1-2h;(4)将退火后的板坯进行轧制,控制前两道次的加工率单道次大于35%,后续轧制加工率大于20%;(5)将轧制后的成品在850~950℃温度下退火,保温时间为1-1.5h。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西部金属材料股份有限公司,未经西部金属材料股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200910180107.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类