[发明专利]一种制备铌溅射靶材的方法有效
| 申请号： | 200910180107.8 | 申请日： | 2009-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN101660130A | 公开（公告）日： | 2010-03-03 |
| 发明（设计）人： | 宜楠;张锟宇;孙毅;王飞;李俊;于乐庆;赵鸿磊 | 申请（专利权）人： | 西部金属材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;C22F1/18;C21D1/26 |
| 代理公司： | 中国有色金属工业专利中心 | 代理人： | 李迎春 |
| 地址： | 710065陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制备铌溅射靶材的方法，其特征在于其制备过程的步骤依次包括：(1)将直径Φ300-330mm的铌锭，在900～1100℃温度下，挤压成直径为100-150mm的铌棒，控制挤压比大于7；(2)将铌棒加热至500～700℃均温后，使用空气锤镦锻整形为板坯，其中控制前两道次镦锻的加工率≥30％；(3)将板坯进行中间退火，退火温度为900～1100℃，保温时间为1-2h；(4)将退火后的板坯进行轧制，控制前两道次的加工率单道次大于35％，后续轧制加工率大于20％；(5)将轧制后的成品退火。本发明的方法，采用大加工率高温挤压，使铌棒挤压过程中发生动态再结晶，使晶粒充分破碎，降低铸锭芯部与边缘的晶粒大小差异，保证了晶粒取向一致，终获得70％以上的[111]型织构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 溅射 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备铌溅射靶材的方法，其特征在于其制备过程的步骤依次包括：(1)将直径Φ300-330mm的铌锭，在900～1100℃温度下，挤压成直径为100-150mm的铌棒，控制挤压比大于7；(2)将铌棒加热至500～700℃均温后，使用空气锤镦锻整形为板坯，其中控制前两道次镦锻的加工率≥30％；(3)将板坯进行中间退火，退火温度为900～1100℃，保温时间为1-2h；(4)将退火后的板坯进行轧制，控制前两道次的加工率单道次大于35％，后续轧制加工率大于20％；(5)将轧制后的成品在850～950℃温度下退火，保温时间为1-1.5h。
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