[发明专利]三维形状测定装置用测定探头有效
| 申请号： | 200910175503.1 | 申请日： | 2007-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN101660900A | 公开（公告）日： | 2010-03-03 |
| 发明（设计）人： | 吉住惠一;久保圭司;望月博之;舟桥隆宪 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种三维形状测定装置用测定探头，其具有：激光光源(31)；透镜(14)，其使从所述激光光源发出的激光聚集在与触针(5)一体连结的反光镜(9)上；衍射光栅(8)，其配置在通过该透镜聚光在所述反光镜的反光镜反射面上后、由所述反射面反射的激光的激光光路中，并且为同心圆状，形成在同心圆的中心从所述激光光路偏离的位置；第一光检测器群(34D、34E、34F)，其接收由该衍射光栅生成的正一次衍射光；和第二光检测器群(34A、34B、34C)，其接收由所述衍射光栅生成的负一次衍射光；所述三维形状测定装置用测定探头构成为将所述第一光检测器群和所述第二光检测器群的输出作为聚焦误差信号，并至少内置所述透镜。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 形状 测定 装置 探头 | ||
【主权项】：
1.一种三维形状测定装置用测定探头，其具有：激光光源(31)；透镜(14)，其使从所述激光光源发出的激光聚集在与触针(5)一体连结的反光镜(9)上；衍射光栅(8)，其配置在通过该透镜聚光在所述反光镜的反光镜反射面上后、由所述反射面反射的激光的激光光路中，并且为同心圆状，形成在同心圆的中心从所述激光光路偏离的位置；第一光检测器群(34D、34E、34F)，其接收由该衍射光栅生成的正一次衍射光；和第二光检测器群(34A、34B、34C)，其接收由所述衍射光栅生成的负一次衍射光；所述三维形状测定装置用测定探头构成为将所述第一光检测器群和所述第二光检测器群的输出作为聚焦误差信号，并至少内置所述透镜。
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