[发明专利]气体分布板及其装置

摘要

本发明公开一种气体分布板，其提供至少两种气体通道。在一实施例中，该气体分布板具有一第一通道、至少一开设于该第一通道周围的第二通道以及一锥形开孔，该锥形开孔与该第一通道以及该第二通道相连通。在另一实施例中，该气体分布板，具有一贯通该分布板第一与第二表面的一第一通道、一与该分布板第一表面平行的第二通道以及开设于该第二表面而与该第二通道相连通的第三通道。该第一通道与该第三通道的一端具有一锥形开孔。此外，本发明更提供一种气体分布装置，其利用本发明的气体分布板以提供至少两种相互独立且可在进入反应腔室时相互混合。

主权项

一种气体分布板，包括：板体，中央部位具有凹槽；第一通道，其一端与该凹槽相连通，另一端贯穿该板体；锥形开孔，该锥形开孔与该第一通道相连通；以及至少一第二通道，其开设于该板体上与该锥形开孔相连通。