[发明专利]图像传感器及其制造方法无效
| 申请号： | 200910173603.0 | 申请日： | 2009-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN101674425A | 公开（公告）日： | 2010-03-17 |
| 发明（设计）人： | 洪志勋 | 申请（专利权）人： | 东部高科股份有限公司 |
| 主分类号： | H04N5/335 | 分类号： | H04N5/335;H01L27/146;H01L21/82 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 顾晋伟;王春伟 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明实施方案提供一种图像传感器及其制造方法。图像传感器包括读出电路、层间电介质、互连和图像感测器件。所述互连包括下部阻挡金属和在下部阻挡金属之下形成的氮化物阻挡物。穿过氮化物阻挡物，形成电连接下部阻挡金属至下部互连的接触塞阻挡物。 | ||
| 搜索关键词： | 图像传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种图像传感器，包括：在第一衬底上的读出电路；在所述第一衬底上的层间电介质；在所述层间电介质中并电连接至所述读出电路的互连；和在所述互连上并通过所述互连电连接至所述读出电路的图像感测器件，其中所述互连包括：下部阻挡金属；和在所述下部阻挡金属之下形成的氮化物阻挡物。
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