[发明专利]载台驱动方法及载台装置、曝光装置、及元件制造方法有效
| 申请号： | 200910168994.7 | 申请日： | 2005-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN101685263A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 柴崎祐一 | 申请（专利权）人： | 尼康股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 任默闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种载台驱动方法及载台装置、曝光装置、及元件制造方法，其中所述曝光装置，是透过投影光学系统与液体，使基板曝光。其特征在于具备：第一、第二载台，能分别独立移动；标记检测系统，配置成从该投影光学系统而分离于第一方向，以检测该基板的标记；及驱动系统，是以边在其与该投影光学系统之间保持该液体，边从该第一、第二载台之一方与该投影光学系统相对向的第一状态迁移至该第一、第二载台之另一方与该投影光学系统相对向的第二状态的方式，将该第一、第二载台驱动于与该第一方向交叉的第二方向。以该能量光束来使基板曝光，藉此，能将元件图案精度良好地转印在基板上，结果能提高高集成度的微元件的生产性。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动 方法 装置 曝光 元件 制造 | ||
【主权项】：
1.一种曝光装置，是透过投影光学系统与液体，使基板曝光，其特征在于具备：第一、第二载台，能分别独立移动；标记检测系统，配置成从该投影光学系统而分离于第一方向，以检测该基板的标记；及驱动系统，是以边在其与该投影光学系统之间保持该液体，边从该第一、第二载台之一方与该投影光学系统相对向的第一状态迁移至该第一、第二载台之另一方与该投影光学系统相对向的第二状态的方式，将该第一、第二载台驱动于与该第一方向交叉的第二方向。
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