[发明专利]一种用于拉晶炉的热屏蔽装置无效
| 申请号： | 200910152928.0 | 申请日： | 2009-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN101665977A | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | 李乔;马远 | 申请（专利权）人： | 浙江碧晶科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 312300浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种热屏蔽装置，由带有中心开口的固定环和绕置在所述中心开口边缘的柔性保温材料构成。本发明热屏蔽装置可以提高在拉晶炉内生长硅晶体时的可靠性和安全性，并降低原先技术中热屏蔽装置的制作成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 拉晶炉 屏蔽 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用于拉晶炉的热屏蔽装置，其特征在于，所述的热屏蔽装置由带有中心开口的固定环和绕置在所述中心开口边缘的柔性保温材料构成。
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