[发明专利]腔室和处理装置有效
| 申请号： | 200910146031.7 | 申请日： | 2009-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN101604610A | 公开（公告）日： | 2009-12-16 |
| 发明（设计）人： | 佐佐木芳彦;南雅人 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/16 | 分类号： | H01J37/16;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙 淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种腔室和处理装置，即使超过输送尺寸的界限也能够进行输送。该腔室包括：开放至少一个侧面(2b)、(2c)的长方体状的本体(2)；和自由装卸地安装在本体(2)的被开放的侧面(2b)、(2c)上的侧板(3a)、(3b)。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种腔室，其特征在于，包括：开放至少一个侧面的长方体状的本体；和自由装卸地安装在所述本体的被开放的侧面上的侧板。
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