[发明专利]悬吊式气浮工作平台有效

专利信息
申请号: 200910143009.7 申请日: 2009-05-21
公开(公告)号: CN101894781A 公开(公告)日: 2010-11-24
发明(设计)人: 庄国彬;洪英民 申请(专利权)人: 由田新技股份有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 代理人: 寿宁;张华辉
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明涉及一种悬吊式气浮工作平台,其包含一底板及一气室座,底板包括一底板本体、多数个上下贯穿底板本体的第一气孔及第二气孔,而气室座叠置于底板本体顶面并且能供该正压源及负压源连接,气室座形成一连通第一气孔与正压源的正压气室及一连通第二气孔与负压源的负压气室,借由负压源提供的负压,能于底板本体底面的第二气孔产生吸附工件的负压,以及借正压源提供的正压,能于底板本体底面的第一气孔产生正压,使工件与底板本体底面悬空地保持一间隔。
搜索关键词: 悬吊 式气浮 工作 平台
【主权项】:
一种悬吊式气浮工作平台,适于连接一正压源与一负压源,用以将一工件吸附于该平台下方,其特征在于:该悬吊式气浮工作平台包含:一底板,包括一底板本体、多数个上下贯穿该底板本体的第一气孔及第二气孔,该底板本体具有一底板本体顶面及一底板本体底面;及一气室座,叠置于该底板本体顶面并且能供该正压源及该负压源连接,该气室座形成一连通所述第一气孔与该正压源的正压气室及一连通所述第二气孔与该负压源的负压气室;借该负压源提供的负压,能于该底板本体底面的所述第二气孔产生吸附该工件的负压,以及借该正压源提供的正压,能于该底板本体底面的所述第一气孔产生正压,使该工件与该底板本体底面悬空地保持一间隔。
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