[发明专利]钛靶材表面的处理方法无效
| 申请号： | 200910139740.2 | 申请日： | 2009-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN101597729A | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | 姚立军;潘杰;王学泽;俞柏森;鲍伟江;刘庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C22F1/18 | 分类号： | C22F1/18;C23C14/14;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李 丽 |
| 地址： | 315400浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种钛靶材表面的处理方法，包括：将钛靶材区分出溅射区和非溅射区；以及，用24号白刚玉对非溅射区的表面进行喷丸处理，并且喷射弹丸方向与非溅射区的表面所成角度为45°的整数倍。其中，24号白刚玉是指每平方英寸内含有24粒白刚玉。本发明通过改变现有喷丸粗糙化处理中的弹丸型号及喷射角度，即没有增加工艺复杂度、难度，又可以高质量、高效率改善钛靶材表面的粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 钛靶材 表面 处理 方法 | ||
【主权项】：
1.一种钛靶材表面的处理方法，其特征在于，包括：将钛靶材区分出溅射区和非溅射区；用24号白刚玉对所述非溅射区的表面进行喷丸处理；其中，所述喷丸处理中，喷射弹丸方向与非溅射区的表面所成角度为45°的整数倍。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料有限公司，未经宁波江丰电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910139740.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
