[发明专利]划线装置以及多轴划线装置有效
| 申请号: | 200910132710.9 | 申请日: | 2009-04-14 |
| 公开(公告)号: | CN101562127A | 公开(公告)日: | 2009-10-21 |
| 发明(设计)人: | 星野京延;三户雅德;羽生明夫;河野贵哉;宍户善明 | 申请(专利权)人: | THK株式会社;株式会社贝尔德克斯 |
| 主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;H01L21/301;B28D5/00 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李贵亮 |
| 地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明涉及划线装置以及多轴划线装置。本发明提供一种能够使从划线工具赋予工件上的载荷稳定化的划线装置。本发明的划线装置具备:轴部件(1),其具有磁铁(5);电枢(2),其具有围绕轴部件(1)的周围的多个线圈(8);划线工具(4),其设置于轴部件(1)的前端,用于在薄板状的工件(W)上刻上划线;移动机构(21),其使划线工具(4)沿工件(W)的表面相对移动。在电枢(2)的线圈中流过电流,由此划线工具向工件(W)的表面进退。在划线工具与工件(W)的表面接触时,进一步在电枢(2)的线圈中流过电流,由此在按照工件(W)的表面内的划线工具(4)的行进方向使轴部件(1)绕其轴线旋转的状态下,从划线工具(4)向工件(W)赋予载荷。 | ||
| 搜索关键词: | 划线 装置 以及 | ||
【主权项】:
1.一种划线装置,其具备:轴部件,其具有磁铁;电枢,其具有围绕所述轴部件的周围的线圈;划线工具,其设置于所述轴部件的前端,用于在薄板状的工件上刻上划线;移动机构,其使所述划线工具沿所述工件的表面相对移动,在所述电枢的所述线圈中流过电流,由此所述划线工具向所述工件的表面进退,在所述划线工具与所述工件的表面接触时,进一步在所述电枢的所述线圈中流过电流,由此在按照所述工件的表面内的所述划线工具的行进方向使所述轴部件能够绕其轴线旋转的状态下,从所述划线工具向所述工件赋予载荷。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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