[发明专利]长程表面等离子体波与介质导波耦合结构及其应用无效
| 申请号： | 200910132692.4 | 申请日： | 2009-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN101581814A | 公开（公告）日： | 2009-11-18 |
| 发明（设计）人： | 刘仿;万锐媛;黄翊东;彭江得;大西大;丹羽大介;三浦义胜 | 申请（专利权）人： | 清华大学;日本罗姆公司 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10;G02F1/03;G01N21/41 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胡小永 |
| 地址： | 100084北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种长程表面等离子体波与介质导波混合耦合结构，该结构包括：介质衬底层(10)；位于该介质衬底层(10)上的介质波导层(7)；位于该介质导波层上的耦合匹配层(8)；以及形成于该耦合匹配层(8)上的、用于传导长程表面等离子体波的长程表面等离子体波导部分，该长程表面等离子波导部分进一步包括：介质缓冲层(9)、金属层(6)、以及介质覆盖层(11)。应用上述混合耦合结构可实现可集成的、极高灵敏度、体积小、稳定性高的折射率传感器，以及高性能、低功耗的光电强度调制器。 | ||
| 搜索关键词： | 长程 表面 等离子体 介质 导波 耦合 结构 及其 应用 | ||
【主权项】：
1、一种长程表面等离子体波与介质导波耦合结构，其特征在于，该结构由下至上分别为：介质衬底层(10)、介质波导层(7)、耦合匹配层(8)和长程表面等离子体波导部分。
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