[发明专利]带有缩短的弹簧杆的扫描探针显微镜探针

摘要

本发明涉及带有缩短的弹簧杆的扫描探针显微镜探针，所述扫描探针显微镜探针(1)包括支撑元件(2)和弹簧杆(3)，其中，该弹簧杆布置成相对于支撑元件(2)凸出。为此，支撑元件(2)沿纵向具有一细长的凸起(4)，弹簧杆(3)固定在凸起的前端面(12)上，弹簧杆(3)的长度可以高的精度调节。具有凸起(4)的支撑元件(2)防止了在探针(1)倾斜时支撑元件(2)无意放置在试样上。弹簧杆纵向界定的高的精度能够按照所提出的制造方法实现重复制造小的、高频弹簧杆(3)，以实现这种扫描探针显微镜探针。

主权项

1.扫描探针显微镜探针(1)，带有一细长的支撑元件(2)，并且带有一从支撑元件(2)端面上伸出的、支撑一探针头(5)的弹簧杆(3)，该弹簧杆布置在探针(1)的支撑元件(2)的前端面(12)上，并且在那里从前端面(13)上伸出，其中支撑元件(2)具有一在端面(13)上带有较长的端面边棱(15′)和短的端面边棱(15″)、以及在端面(13)的端面边棱(15′，15″)的一个上带有临界的尖角(16)的基本上梯形的横截面形状，该临界的尖角在扫描时离试样最近，其特征在于，支撑元件(2)具有一细长的凸起(4)，该凸起沿着支撑元件(2)和弹簧杆(3)的纵向延伸，其中凸起(4)构成一基本上梯形的横截面形状，并且弹簧杆(3)端面布置在支撑元件(2)的凸起(4)的狭窄的端面边棱(15)上，并且其中带有弹簧杆(3)的凸起(4)优选的是布置在支撑元件(2)的前端面(13)的较长的端面边棱(15′)上，并且从一假想的、通过临界的尖角(16)的一个平行于支撑元件背面(14)的侧面纵向侧边棱(22)延伸的直线和探针头(5)构成的平面相对于端面边棱(15′)至少具有5度的倾斜角度。