[发明专利]磁控溅射环无效
| 申请号： | 200910117304.5 | 申请日： | 2009-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN101565819A | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 钟景明;李桂鹏;张春恒;汪凯;同磊 | 申请（专利权）人： | 西北稀有金属材料研究院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B23P9/02;B23K15/00 |
| 代理公司： | 宁夏专利服务中心 | 代理人： | 叶学军 |
| 地址： | 753000宁夏回族自*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 一种磁控溅射环，包括用钽或铌金属制成的圆形环体(1)，沿环体外缘装有起固定和引入电流作用的凸结体(2)，圆形环体(1)表面有凸菱形滚花。本发明在钽作为靶材在溅射机上使用，各方面性能达到设计要求。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 | ||
【主权项】：
1、一种磁控溅射环，包括用钽或铌金属制成的圆形环体(1)，其特征在于沿环体外缘装有起固定和引入电流作用的凸结体(2)，圆形环体(1)表面有凸菱形滚花。
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