[发明专利]基于声谐振腔的石英音叉增强型光声光谱气体传感装置

摘要

本发明公开了一种基于声谐振腔的石英音叉增强型光声光谱气体传感装置。它包括激光器(1)和其光路(2)上的聚焦透镜(5)、管状谐振腔，以及石英音叉(11)、与激光器(1)电连接的函数发生器(15)、与石英音叉(11)电连接的锁相放大器(14)，函数发生器(15)与锁相放大器(14)电连接，特别是管状谐振腔为中部置有狭缝(91)的声谐振腔(9)，其长度为≤10mm、外直径为≤1mm、内直径为≤0.6mm，狭缝(91)的宽度为≤0.2mm、长度为≤声谐振腔(9)的内直径；石英音叉(11)的音叉臂(111)位于狭缝(91)处，其与狭缝(91)间的距离为≥0.001mm。它的结构简单、体积小、抗干扰性强、工作稳定、调整和使用均方便；它可广泛地用于探测气体的成分或含量。

主权项

一种基于声谐振腔的石英音叉增强型光声光谱气体传感装置，包括激光器(1)和其光路(2)上的聚焦透镜(5)、管状谐振腔，以及石英音叉(11)、与所述激光器(1)输入端电连接的函数发生器(15)、与所述石英音叉(11)输出端电连接的锁相放大器(14)，所述管状谐振腔的管轴心与所述光路(2)同轴，所述聚焦透镜(5)的焦点位于所述管状谐振腔中，所述函数发生器(15)的输出端与所述锁相放大器(14)的输入端电连接，其特征在于：所述管状谐振腔为中部置有狭缝(91)的声谐振腔(9)，所述声谐振腔(9)的长度为≤10mm、外直径为≤1mm、内直径为≤0.6mm，所述狭缝(91)的宽度为≤0.2mm、长度为≤声谐振腔(9)的内直径；所述石英音叉(11)的音叉臂(111)位于所述狭缝(91)处，其与狭缝(91)间的距离为≥0.001mm。