[发明专利]薄膜太阳能电池背电极的制备方法

摘要

薄膜太阳能电池背电极的制备方法，为：在导电衬底玻璃的透明导电膜上沉积非晶硅膜或微晶硅膜；将两片导电衬底玻璃以玻璃面相对、非晶硅膜或微晶硅膜朝外的方式放置在立式玻璃基片装载架的宽度方向两侧；利用真空泵组将磁控溅射系统真空至10^-5托以下，通入反应气体，打开直流或射频电源，开始启辉；通过常规的自动传动装置，带动玻璃基片装载架在磁控溅射系统内依次连续直线移动，且该系统的镀膜室中至少装有两对铝溅射靶或两对氧化锌溅射靶，处理结束后，两片导电衬底玻璃的非晶硅膜或微晶硅膜上均沉积有铝膜或氧化锌膜。本方法的镀膜效率较高，生产成本较低，更加利于实现大规模工业化生产。

主权项

1、薄膜太阳能电池背电极的制备方法，它包括以下工艺步骤：a、采用等离子体增强化学气相沉积法在导电衬底玻璃的透明导电膜上沉积厚度为1000～10000埃的非晶硅膜或微晶硅膜；b、将沉积有非晶硅膜或微晶硅膜的两片导电衬底玻璃以玻璃面相对、非晶硅膜或微晶硅膜朝外的方式放置在立式玻璃基片装载架的宽度方向两侧；c、利用真空泵组将磁控溅射系统真空至10-5托以下，通入反应气体，打开直流或射频电源，开始启辉，反应气体为氩气与氧气的混合气体、氩气中的任意一种；d、通过常规的自动传动装置，带动玻璃基片装载架在磁控溅射系统内依次连续直线移动，且该系统的镀膜室中至少装有两对铝溅射靶或两对氧化锌溅射靶，它们顺着玻璃基片装载架的移动路线方向布置且相对错开排列，处理结束后，两片导电衬底玻璃的非晶硅膜或微晶硅膜上均沉积有铝膜或氧化锌膜。