[发明专利]一种延长单晶炉排气口保温罩寿命的方法和装置无效
| 申请号： | 200910112104.0 | 申请日： | 2009-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN101660196A | 公开（公告）日： | 2010-03-03 |
| 发明（设计）人： | 南毅;张伟娜;郑智雄;汪建 | 申请（专利权）人： | 南安市三晶阳光电力有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 | 代理人： | 张松亭 |
| 地址： | 362000福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种延长单晶炉排气口保温罩寿命的方法和装置。本发明是在每个排气口上安装一个耐高温的硬质材料套管，如硬质石墨套筒或耐高温陶瓷套管。采用本发明方法，附于石墨套管上的反应过程中产生的SiC杂质便于清洗，耐高温陶瓷套管则不产生SiC杂质，由此避免了SiC杂质附于碳毡上带来的危害。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 延长 单晶炉排 气口 保温 寿命 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种延长单晶炉排气口保温罩寿命的方法，其特征在于：在每个排气口上安装一个耐高温的硬质材料套管。
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