[发明专利]非球面光学元件顶点的检测方法

摘要

非球面光学元件顶点的检测方法，涉及一种非球面光学元件。提供一种原理简单、易于实现，可有效地提高非球面光学元件的检测效率，并降低非球面光学元件的检测难度的非球面光学元件顶点的检测方法。基于三坐标检测仪精确测量得到非球面光学元件表面点坐标的特点，通过三坐标检测仪在非球面光学元件表面对角两侧任取两不同点测量出坐标值，根据这两点的坐标值通过一系列的演算，并根据演算结果进行再测量，最后应用迭代算法迭代检测顶点，直至检测到顶点的满足设定精度为止才停止测量，输出满足检测精度要求的顶点坐标，否则继续测量、演算、迭代。

主权项

1. 非球面光学元件顶点的检测方法，其特征在于包括以下步骤：1)在非球面光学元件表面对角两侧分别任取两点P1、P2，设P1为检测起点，P2为检测终点，通过三坐标检测仪测量，得到P1、P2坐标分别为p1(x1，y1，z1)和p2(x2，y2，z2)，以p1(x1，y1，z1)和p2(x2，y2，z2)这两点为对角点，确定形成一个矩形检测区域；2)取在矩形检测区域上的已知A点坐标B点坐标，D点坐标E点坐标其中的ZA，ZB，ZD，ZE可以通过三坐标检测仪的测量传感器探测确定；3)设AB＝L，DE＝M，取点C为AB，DE中点，则C点坐标zC可以通过三坐标检测仪的测量传感器探测确定；4)求出过A、B、C三点的圆的对称轴Z′，沿对称轴Z′方向第一次检测到顶点O1；5)以O1为对称轴，确定点A′，B′，D′，E′，其中计算得到过O1，A′，B′三点的圆的对称轴Z″位置，沿对称轴Z″方向第二次检测顶点O2；6)比较两次查到的顶点O1，O2，判断顶点O1与O2之间的位移是否在设定的检测精度范围precision内，否则按照步骤2)至步骤3)的方法继续迭代检测；7)检测到顶点的满足精度要求，输出满足检测精度要求的顶点坐标O(x，y，z)。