[发明专利]一种薄膜太阳电池及其制造方法有效

专利信息
申请号: 200910108648.X 申请日: 2009-07-09
公开(公告)号: CN101645469A 公开(公告)日: 2010-02-10
发明(设计)人: 刘萍;赖延清 申请(专利权)人: 深圳丹邦投资集团有限公司
主分类号: H01L31/042 分类号: H01L31/042;H01L31/0264;H01L31/18
代理公司: 深圳新创友知识产权代理有限公司 代理人: 江耀纯
地址: 518000广东省深圳市南山区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种薄膜太阳电池及其制造方法。该薄膜太阳电池从下到上依次由玻璃基底、钼铜背电极、铜硅锡硫(CSTS)光吸收层、硫化锌(ZnS)缓冲层、氧化锌铝(ZAO)窗口层和镍铝顶电极构成。其中光吸收层是采用溅射硫化法在背电极上沉积0.5~5μm的铜硅锡硫薄膜。本发明避免了稀贵金属和有毒元素的使用,具有结构及制造工艺简单、光电转化效率高且稳定性良好等优点。
搜索关键词: 一种 薄膜 太阳电池 及其 制造 方法
【主权项】:
1、一种薄膜太阳电池,从下到上依次由玻璃基底、背电极、光吸收层、缓冲层、窗口层和顶电极构成,其特征在于:所述的光吸收层为铜硅锡硫薄膜,其厚度为0.5~5μm。
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