[发明专利]太阳能级硅晶体的制备及提纯方法无效
申请号: | 200910098370.2 | 申请日: | 2009-05-11 |
公开(公告)号: | CN101545135A | 公开(公告)日: | 2009-09-30 |
发明(设计)人: | 李乔;马远 | 申请(专利权)人: | 浙江碧晶科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B29/06 |
代理公司: | 杭州天勤知识产权代理有限公司 | 代理人: | 胡红娟 |
地址: | 312300浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种太阳能级硅晶体的制备及提纯方法,其特点是提纯及硅晶体制备过程在晶体提拉炉(采用Czochralski法进行晶体生长的设备)内完成,并且采用石墨材料加工的坩埚作为与硅原料(及其熔化后的熔液)直接接触的容器,其操作过程包括(1)加热使石墨坩埚内的硅原料熔化,在硅熔液温度1500~2000℃,硅熔液表面真空度0~500Pa条件下蒸发杂质;(2)控制硅熔液温度在1410~1500℃之间,通过籽晶诱导制备硅晶体;(3)石墨坩埚内硅熔液将耗尽时,升温至1600~1850℃,硅熔液表面的真空度控制在0~5Pa,蒸发硅熔液中余下的杂质;(4)降温但保持石墨坩埚内温度800℃以上,向石墨坩埚中加入下一批硅原料;(5)重复步骤(1)~(4)的操作连续生产。本发明方法生产的硅晶体氧含量很低,改善了掺硼硅晶体制作成的太阳能电池的光致衰减性能,也实现了连续生产。 | ||
搜索关键词: | 太阳 能级 晶体 制备 提纯 方法 | ||
【主权项】:
1、一种太阳能级硅晶体的制备及提纯方法,其特征在于,在晶体提拉炉内,采用石墨材料的坩埚作为与硅原料直接接触的容器:(1)加热使石墨坩埚内的硅原料熔化,在硅熔液温度1500~2000℃,硅熔液表面真空度0~500Pa条件下蒸发杂质1小时或以上;(2)控制硅熔液温度在1410~1500℃之间,通过籽晶诱导制备硅晶体。
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