[发明专利]三级法布里-珀罗腔型可调谐滤光片系统

摘要

本发明公开了一种三级法布里-珀罗腔型可调谐滤光片系统。有两种结构。第一种结构有三个法布里-珀罗腔构成，其中法布里-珀罗腔是电可调谐的；第二种结构有起偏器、三个法布里-珀罗腔和检偏器构成，其中法布里-珀罗腔只对通过起偏器的线偏振光起电可调谐作用。本发明通过三个法布里-珀罗腔的合理设计实现宽光谱范围内连续可调的窄带滤光，法布里-珀罗腔制作工艺成熟，整个系统实现方便。还具有通光口径大、装配简易、滤光光谱范围宽、光谱分辨率高的特点，可应用于遥感探测、生物医学、天文观测等领域。

主权项

1、一种三级法布里-珀罗腔型可调谐滤光片系统，其特征在于第一法布里-珀罗腔(1)、第二法布里-珀罗腔(2)和第三法布里-珀罗腔(3)以任意次序叠加而成，第一法布里-珀罗腔(1)、第二法布里-珀罗腔(2)和第三法布里-珀罗腔(3)的结构相同，法布里-珀罗腔包括第一玻璃基板(11)、第一ITO导电薄膜(12)、第一介质高反射层(13)和第一腔体(14)，第一腔体(14)上、下方分别设有第一介质高反射层(13)、第一ITO导电薄膜(12)和第一玻璃基板(11)。